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含碳的氮化铝烧结体用于半导体制造检测设备的基材百度学术化专佛山陶瓷摘要本发明目的是提供一种能保持Ω或更大体积电阻率的氮化铝烧结体,能保证覆盖能力大的辐射热量和用温度显示器测定时的准确度。本发明的含碳氮化铝烧结体年版氮化铝陶瓷基片生产项目可行性研究报告中商情报网一建立氮化铝陶瓷基片生产项目实施管理机构二资金筹集安排三技术获得与转让四勘察设计和设备订货五施工准备六施工和生产准备七