一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方法本发明公开了一种从单晶硅切割或磨削加工硅晶片产生的废砂浆中提取高纯硅粉和碳化硅粉的工艺方法,包括对废砂浆进行固液分离,通过有机溶剂去除废料中的悬浮剂和粘结剂。
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